|
Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких пленок, литографии, сборке и герметизации.
Значительное внимание уделено контролю, обеспечению качества и надежности при изготовлении микроэлектронных устройств.
Для инженерно-технических работников, мастеров и квалифицированных рабочих, занимающихся производством МЭУ.
|
Просмотров: 135 
