1. ВВЕДЕНИЕ  6
2. ДВИЖЕНИЕ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ В ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ И МАГНИТНЫХ ПОЛЯХ 7
2.1. Средняя длина свободного пробега частиц в газе   7
2.2. Движение в однородном электрическом поле   8
2.3. Движение в однородном магнитном поле  11
2.4. Движение в скрещенных электрических и магнитных полях  13
2.5. Магнитные ловушки   14
2.6. Электронная и ионная оптика  17
2.6.1. Электростатические линзы   19
2.6.2. Магнитные линзы  26
3. ЭМИССИЯ ЭЛЕКТРОНОВ ИЗ ТВЕРДОГО ТЕЛА  30
3.1. Термоэлектронная эмиссия   32
3.2. Автоэлектронная эмиссия   34
3.2.1. Влияние объемного заряда и внешнего ускоряющего поля на термоэлектронную эмиссию   38
3.3. Фотоэлектронная эмиссия   44
3.4. Вторичная электронная эмиссия  48
3.5. Вторичная ионно-электронная эмиссия  51
3.6. Взрывная эмиссия 52
4. ДВИЖЕНИЕ И СТОЛКНОВЕНИЯ ЧАСТИЦ В ГАЗЕ И ПЛАЗМЕ  55
4.1. Ионизованный газ и плазма  55
4.1.1. Параметры плазмы и классификация  55
4.1.2. Квазинейтральность плазмы  56
4.2. Упругие столкновения частиц в газе и плазме  57
4.3. Неупругие столкновения частиц  59
4.3.1. Возбуждение атомов электронным ударом 59
4.3.2. Ионизация атомов электронным ударом  60
4.3.3. Соударение ионов с атомами 62
4.3.4. Взаимодействие атомов с фотонами 64
4.3.5. Неупругие процессы второго рода  65
4.3.6. Рекомбинация заряженных частиц  66
4.3.7. Образование отрицательных ионов  68
4.4. Движение заряженных частиц в газе и плазме  69
4.4.1. Дрейф заряженных частиц   69
4.4.2. Диффузия заряженных частиц 72
5. ТИПЫ ГАЗОВЫХ РАЗРЯДОВ 76
5.1. Основные понятия 76
5.1.1. Тлеющий разряд  79
5.1.2. Дуговой разряд   81
5.1.3. Высокочастотный газовый разряд   85
6. МЕТОДЫ ДИАГНОСТИКИ ПЛАЗМЫ 89
6.1. Зондовый метод диагностики плазмы 89
6.1.1. Одиночный (ленгмюровский) зонд 90
6.1.2. Зондовая характеристика и ее обработка  95
6.1.3. Двойной зонд  97
6.2. Спектроскопические методы  99
7. ЭЛЕКТРОННЫЕ И ИОННЫЕ ПУЧКИ И ПУШКИ 101
7.1. Эксплуатационные и технологические параметры ПИЭЛ  102
7.2. Нестационарные источники электронов 106
8. ПРИБОРЫ И УСТРОЙСТВА ВАКУУМНОЙ, ПЛАЗМЕННОЙ И ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ  107
8.1. Электровакуумные приборы  107
8.1.1. Классификация и устройство 107
8.1.2. Электровакуумные диоды и триоды 112
8.2. Газоразрядные источники света   114
8.2.1. Общие представления 114
8.2.2. Ртутные лампы высокого давления  117
8.2.3. Высокоинтенсивные газовые дуговые лампы  120
8.2.4. Дуговые металлогалоидные лампы 120
8.2.5. Дуговые лампы с поликоровой разрядной трубкой   121
8.3. Масс-спектрометры  122
8.4. Газовые СО2 лазеры непрерывного действия  134
9. ПРИМЕНЕНИЕ ПЛАЗМЕННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК 137
9.1. Системы ионно-плазменного распыления на постоянном токе  137
9.2. Магнетронные распылительные системы 141
9.3. Различные типы магнетронов  144
9.4. Расчет распределения толщины пленки  145
9.5. Нагрев мишени во время распыления  147
9.6. Нагрев подложки во время осаждения пленки  148
ЛИТЕРАТУРА  149