В книге дается обзор состояния экспериментальных и теоретических исследований катодного распыления. Рассмотрены вопросы практического использования этого явления в науке и технике. Указаны методы борьбы с распылением, когда оно вызывает нежелательные последствия.
Монография может оказать помощь инженерно-техническим и научным работникам электронной, электровакуумной, оптической и полупроводниковой промышленности.
В ней затрагиваются вопросы, которые могут заинтересовать инженеров-физиков, специалистов в области физики плазмы и твердого тела, металлофизиков и химиков, а также студентов.
Оглавление
Предисловие
Введение. Краткий исторический обзор
1. Методы исследования
2. Характеристики эмиттированных частиц
3. Влияние различных факторов на коэффициент распыления поликристаллов
4. Распыление монокристаллов
5. Взаимодействие ионов с твердыми веществами
6. Теория катодного распыления
7. Применеине катодного распыления
8. Катодное распыление в науке и технике
Литература
Предметный указатель
Просмотров: 56 
